催化燃烧设备主要是利用催化剂来改变反应条件以达到在较低条件下去除有机物的净化装置，催化燃烧装置内所发生的气-固相催化反应的实质是活性氧参与的深度氧化作用。

　　活性炭脱附温度必须保证在80~120℃，温度过低，影响脱附效果，温度达到130℃则会引起活性炭自燃。不能处理含磷、铬、铅、硫砷、锑、汞、锡及卤素、氨等分子的有机废气，以及高浓度的粉尘，不能处理含有高黏性油脂类的气体，例如医药厂、橡胶厂等行业。

　　虽然催化燃烧法处理效率高，但工艺条件要求严格，不允许废气中含有影响催化剂寿命和处理效率的尘粒和雾滴，也不允许有使催化剂中毒的物质，以防催化剂中毒，因此采用催化燃烧技术处理有机废气必须对废气作前处理，工程项目投入成本高。

　　将废气进行催化净化的过程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化燃烧所需要的起始温度。经过预热的废气，通过催化剂层使之燃烧。由于催化剂的作用，催化燃烧法废气燃烧的起始温度约为250～300摄氏度，大大低于直接燃烧法的燃烧温度650～800摄氏度。