UV光催化设备适用于低浓度废气，起火缘由主要是废气在管道内集聚招致废气浓度高。通电后因线路电器问题，产生火花招致起火爆炸，因而开光氧设备前应提早10分钟开风机，待管道内废气浓度降低后再开光氧设备，避免发作火灾现象。
等离子起火爆炸多数因电场短路产生电火花，高压产生的电弧等引爆废气，因而等离子合适处置低浓度废气。且设备每个月应将等离子设备及电极组件抽出来全面清洗一次，每三个月至半年（年限是半年）视状况将等离子设备一切电极抽出全面清洗一次。
爆炸的缘由主要是进气浓度和进气量高于设计上线，招致熄灭室温度短时内急剧上升，高温尾气与高浓度有机废气混合会招致RTO排放口爆炸，假如进气口未装置阻火器，会招致进气管道着火。
喷漆废气处置设备运用活性炭吸附工艺或者活性炭吸附脱附催化熄灭工艺的，应控制活性炭箱温度，防止惹起活性炭自燃现象。吸附脱附催化熄灭工艺应装备氮气维护功用。
